구면수차보정투과전자현미경(HRTEM 3)
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| 단축명 | HRTEM 3 (Cs_corrected/STEM/EDS/EELS) |
| 모델명 | JEM ARM 200F |
| 설치장소 | 미세구조분석실//[82104]투과전자현미경실Ⅰ |
| 제작사 | JEOL |
| 도입년도/가격 | 201109 / 3,512,292,000 |
| 담당자 | 송지호(Song Ji-ho) 031-299-6734 |
| 장비용도 | |
| The equipment has the ability to analyze the composition of elements, strain, thickness and chemical bonding due to the outstanding spatial resolution and point resolution so that it can use to analyze the high-tech materials such the graphene, nano-metal materials.본 장비로는 TEM의 기능을 뛰어 넘는 공간분해능과 점분해능을 갖추고 있어 그동안 차세대 반도체 분석 난제로 여겨지던 나노 영역의 조성, 응역, 두께, 화학적 결합 등에 대한 분석 및 해석 가능, 첨단 Graphene 및 금속 나노재료의 미세구조, 화학분석, 그리고 물리적 특성 등의 첨단재료의 복합적 분석에 사용될 수 있다 | |
| 기본사양 | |
| 1)Lattice resolution : 0.2nm 2)Magnification : x100 to x10,000,000 3)Accelerating voltage : 200kV 4) Beam emission method : Schottky Emission source Image observation signals : SE, Phase Contrast, HADP, Live DP, EDS Live(point,line,map 분석가능) 5)Specimen size : 3mm dia. 6)Specimen movement Range : 0.1nm accuracy fully Compu-Motor X,Y : ±1mm, : ±0.3mm 7)Specimen tilt angle : ±30˚ | |