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기기원 소개

표면분석실

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선임 홍문규

1. 미세구조·표면 분석 운영 책임

2. 이차이온질량분석기(SIMS) 운영

3. 고분해능 원자힘현미경(바이오겸용)(HR-AFM(Bio 겸용)) 운영

4. 3차원 형상 측정 레이저 공초점 현미경(3D LSM) 운영

5. 표면깊이(낙차)측정기(Profiler) 운영

6. 마스크정렬노광시스템(Mask Aligner) 운영

7. 엘립소미터(Ellipsometer) 운영

8. KOLAS 역학분야 기술책임자

선임연구원 강은정(육아휴직)
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1. 고분해능오제전자분광기(AES) 운영

2. 엘립소미터(Ellipsometer) 운영

선임연구원 이은영

1. 고분해능오제전자분광기(AES) 운영

2. 엘립소미터 (Ellipsometer) 운영 

3. 광전자분광기 (XPS1) 운영

연구원 용진영

1. 광전자분광기(XPS3/UPS) 운영

연구원 김미래

1. 박막용 X선 회절분석기(HP-Thin Film XRD) 운영

2. 분말용 X선 회절분석기(HP-Powder XRD) 운영

3. 다목적 X선 회절분석기 운영