3차원형상측정레이저공초점현미경 문의: ☎ 031-299-6764, 홍문규 주임
1. 3차원형상측정 레이저공초점현미경(3D LSM) 측정원리
3차원형상측정레이저공초점현미경(3D LSM)은 Confocal 광힉시스템을 이용하는 방식이며, 대물 렌즈의 초점 위치가 형성되는 위치(결상 위치)에 원형 개구부를 가진 핀홀이 위치하여 초점 위치의 광선만을 검출하여 측정한다. 일반 광학 현미경의 경우 특정 영역에 균일한 조명을 비추는 것이 중요한 반면, Confocal 광학 시스템의 경우 점 광원에서 조사되는 광선은 대물 렌즈에 의해 방사되어 광선이 샘플의 1개 점에 집광되도록 한다. 일반적으로 직선 형태로 이동하는 특정 레이저 광선 파장이 점 광원으로 사용되어 대량의 광선이 1개 점에 집광되도록 하여 환경에 의해 불필요하게 분산되는 광선의 양을 줄이고 일반 광학 현미경 대비 대비를 향상하여 샘플을 균일하게 비추게 된다 광선은 샘플 표면에 반사된 후 동일한 광 경로를 따라 이동하여 빔 분리기에 의해 분리된 후 핀홀에서 다시 합쳐진다. 이 광학 시스템은 초점 위치 이외의 영역에서 반사된 광선의 대부분이 핀홀에 의해 막히기 때문에 오직 초점 위치에서 정보를 획득할 수 있어 높이 센서와 같이 작동할 수 있다. 이러한 장점을 바탕으로 Confocal 광학 시스템에서 최대 강도를 가진 Z 위치, 즉 가장 밝은 Z 위치는 해당 위치의 샘플 표면 높이 정보를 표시하여 샘플의 높이 정보를 얻을 수 있어 3D 이미지를 획득할 수 있다. 분석법으로는 3D Image를 생성하여 이를 바탕으로 Line Scan, 거칠기, 표면적 및 체적 등을 측정할 수 있다.
2. 분석종류
| 구분 | 내 용 | 분석 결과 |
|---|---|---|
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Line Profile |
수직, 수평, 자유 방향 Single Scan으로 재료 표면에서의 단차를 측정 |
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Roughness |
3D 표면 전체 및 부분에서의 표면 거칠기 측정 |
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표면적 및 체적 |
3D 표면 전체 및 부분에서의 표면적 및 체적 측정 |
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3. 보유장비 스펙
*장비명을 선택하시면 상세스펙을 확인 할 수 있습니다.
| 장비명 | 단축명 | 모델명 |
|---|---|---|
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3D LSM |
OLS5100 |
4. 활용 및 연구분야
| 연구분야 | 내 용 |
|---|---|
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금속 |
금속 표면 Profile 및 두께 단차 측정, 표면 조도 측정 |
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재료 |
결정 구조 형태 및 크기, 높이 등 측정 |
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나노 |
나노 박막의 두께 및 Stack 형태 측정 |
| 항공우주 | 항공기 및 우주 탐사선의 부품검사 및 형상측정 |
| 문화유산 및 예술 | 문화유산 보존 및 복원, 고고학적 유적물의 표면분석 |