표면분석실 연구장비 소개
No. | 설치장소 | 기기명 | 단축명 | 모델명 | 담당자 | 연락처 |
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1 | 표면분석실 : 81B110호 | 이차이온질량분석기 | SIMS | TOF-SIMS-5 | 홍문규(Hong Moon-Kyu) |
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2 | 표면분석실 : 81B105호 | 고출력 박막용 X선 회절분석기 | HP-Thin Film XRD | D8 ADVANCE | 김미래(Kim Mirae) |
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3 | 표면분석실 : 81B105호 | 고출력 분말용 X선 회절분석기 | HP-Powder XRD | D8 ADVANCE | 김미래(Kim Mirae) |
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4 | 표면분석실 : 81B110호 | 표면깊이(낙차)측정기 | Profiler | Bruker DXT-A | 홍문규(Hong Moon-Kyu) |
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5 | 표면분석실 : 81B113호 | 광전자분광기 | XPS | ESCALAB250 | 용진영(Yong Jin-young) |
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6 | 표면분석실 : 제2공학관 25202호 | 마스크정렬노광시스템 | Mask Aligner | MA/BA6 | 홍문규(Hong Moon-Kyu) |
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7 | 표면분석실 : 81B113호 | 고분해능 원자힘현미경(바이오겸용) | HR-AFM(Bio 겸용) | NanoWizard Ultra Speed | 홍문규(Hong Moon-Kyu) |
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8 | 표면분석실 : 81B110 | 3차원 형상 측정 레이저 공초점 현미경 | 3D LSM | OLS5100 | 홍문규(Hong Moon-Kyu) |
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9 | 표면분석실 : 81B105 | 고출력, 고분해능 다목적 엑스선회절분석기 | 다목적 XRD | Smartlab | 김미래(Kim Mirae) |
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10 | 표면분석실 : | 고분해능오제전자분광기 | AES | JAMP-9500F | 강은정(Kang Eunjung) |
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11 | 표면분석실 : 81B113 | 엘립소미터 | Ellipsometer | SENResearch | 강은정(Kang Eunjung) |
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12 | 표면분석실 : 81B113호 | (예약불가)일반 원자힘현미경 | 일반 AFM(예약불가) | SPA-300HV | 용진영(Yong Jin-young) |
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