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표면분석실 연구장비 소개

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표면분석실 연구장비 종류 및 담당자
No. 기기명 단축명 모델명 담당자 연락처
1 이차이온질량분석기 SIMS TOF-SIMS-5 홍문규(Hong Moon-Kyu) 031-299-6764
2 표면깊이(낙차)측정기 Profiler Bruker DXT-A
3 3차원 형상 측정 레이저 공초점 현미경 3D LSM OLS5100
4 고분해능 원자힘현미경(바이오겸용) HR-AFM(Bio 겸용) NanoWizard Ultra Speed
5 광전자분광기3(NEXSA) XPS 3 (NEXSA) NEXSA 용진영(Yong Jin-young) 031-299-6762
6 광전자분광기2(Super user용) XPS2(Super user) JPS-9030 이은영(Lee Eunyoung) 031-299-6750
7 광전자분광기1(ESCALAB250) XPS1(ESCALAB250) ESCALAB250
8 고분해능오제전자분광기 AES JAMP-9500F
9 엘립소미터 Ellipsometer SENResearch
10 고출력, 고분해능 다목적 엑스선회절분석기 다목적 XRD Smartlab 김미래(Kim Mirae) 031-299-6736
11

고출력 분말용 X선 회절분석기2

(준비중)

HP-Powder XRD 2 Smartlab
11 고출력 분말용 X선 회절분석기1 HP-Powder XRD 1 D8 ADVANCE
14 고출력 박막용 X선 회절분석기 HP-Thin Film XRD D8 ADVANCE
15 마스크정렬노광시스템 Mask Aligner MA/BA6 홍문규(Hong Moon-Kyu) 031-299-6764