표면분석실 연구장비 소개
| No. | 설치장소 | 기기명 | 단축명 | 모델명 | 담당자 | 연락처 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 표면분석실 : [81B110]이차전자질량분석실 | 이차이온질량분석기 | SIMS | TOF-SIMS-5 | 홍문규(Hong Moon-Kyu) |
031-299-6764
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| 2 | 표면분석실 : [81B113]기기분석실Ⅰ | 광전자분광기1 | XPS1 | ESCALAB250 | 용진영(Yong Jin-young) |
031-299-6762
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| 3 | 표면분석실 : [81B113]기기분석실Ⅰ | 광전자분광기2 | XPS2 | JPS-9030 | 용진영 |
031-299-6762
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| 4 | 표면분석실 : [81B105]엑스선분석실 | 고출력 박막용 X선 회절분석기 | HP-Thin Film XRD | D8 ADVANCE | 김미래(Kim Mirae) |
031-299-6736
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| 5 | 표면분석실 : [81B105]엑스선분석실 | 고출력 분말용 X선 회절분석기 | HP-Powder XRD | D8 ADVANCE | 김미래(Kim Mirae) |
031-299-6736
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| 6 | 표면분석실 : [81B105]엑스선분석실 | 고출력, 고분해능 다목적 엑스선회절분석기 | 다목적 XRD | Smartlab | 김미래(Kim Mirae) |
031-299-6736
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| 7 | 표면분석실 : [81B113]기기분석실Ⅰ | 고분해능 원자힘현미경(바이오겸용) | HR-AFM(Bio 겸용) | NanoWizard Ultra Speed | 홍문규(Hong Moon-Kyu) |
031-299-6764
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| 8 | 표면분석실 : [81B113]기기분석실Ⅰ | 고분해능오제전자분광기 | AES | JAMP-9500F | 이은영 |
031-299-6750
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| 9 | 표면분석실 : [81B110]이차전자질량분석실 | 3차원 형상 측정 레이저 공초점 현미경 | 3D LSM | OLS5100 | 홍문규(Hong Moon-Kyu) |
031-299-6764
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| 10 | 표면분석실 : [81B110]이차전자질량분석실 | 표면깊이(낙차)측정기 | Profiler | Bruker DXT-A | 홍문규(Hong Moon-Kyu) |
031-299-6764
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| 11 | 표면분석실 : 제2공학관 25202호 | 마스크정렬노광시스템 | Mask Aligner | MA/BA6 | 홍문규(Hong Moon-Kyu) |
031-299-6764
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| 12 | 표면분석실 : [81B113]기기분석실Ⅰ | 엘립소미터 | Ellipsometer | SENResearch | 홍문규 |
031-299-6750
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| 13 | 표면분석실 : 81B105 | (폐기)일반출력 박막용 엑스선회절분석기 | (폐기)Thin film XRD | D8 Discover | 홍문규 |
031-299-6736
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