표면분석실 연구장비 소개
* 기기명을 선택하시면 상세정보를 확인하실 수 있습니다.
| No. | 기기명 | 단축명 | 모델명 | 담당자 | 연락처 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 이차이온질량분석기 | SIMS | TOF-SIMS-5 | 홍문규(Hong Moon-Kyu) |
031-299-6764 |
| 2 | 표면깊이(낙차)측정기 | Profiler | Bruker DXT-A | ||
| 3 | 3차원 형상 측정 레이저 공초점 현미경 | 3D LSM | OLS5100 | ||
| 4 | 고분해능 원자힘현미경(바이오겸용) | HR-AFM(Bio 겸용) | NanoWizard Ultra Speed | ||
| 5 | 광전자분광기3(NEXSA) | XPS 3 (NEXSA) | NEXSA | 용진영(Yong Jin-young) |
031-299-6762 |
| 6 | 광전자분광기2(Super user용) | XPS2(Super user) | JPS-9030 | 이은영(Lee Eunyoung) |
031-299-6750 |
| 7 | 광전자분광기1(ESCALAB250) | XPS1(ESCALAB250) | ESCALAB250 | ||
| 8 | 고분해능오제전자분광기 | AES | JAMP-9500F | ||
| 9 | 엘립소미터 | Ellipsometer | SENResearch | ||
| 10 | 고출력, 고분해능 다목적 엑스선회절분석기 | 다목적 XRD | Smartlab | 김미래(Kim Mirae) |
031-299-6736 |
| 11 | 고출력 분말용 X선 회절분석기 | HP-Powder XRD | D8 ADVANCE | ||
| 12 | 고출력 박막용 X선 회절분석기 | HP-Thin Film XRD | D8 ADVANCE | ||
| 13 | 마스크정렬노광시스템 | Mask Aligner | MA/BA6 | 홍문규(Hong Moon-Kyu) |
031-299-6764 |