[슈퍼유저용]주사전자현미경
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| 단축명 | [슈퍼유저용]SEM |
| 모델명 | JSM-6390A |
| 설치장소 | 미세구조분석실//[81B114A]초박미세절편기 |
| 제작사 | JEOL |
| 도입년도/가격 | 200712 / 130,000,000 |
| 담당자 | 이혜림 031-299-6742 |
| 장비용도 | |
| Analysis of phase at small region for thin film and semiconductor materials needing the high resolution. 고해상도를 요구하는 박막재료, 반도체재료의 국부 영역의 상관찰 | |
| 기본사양 | |
| Resolution : 3.0 nm Magnification : 30 to 300K Image modes : SEI, BEI Accelerating voltage : 1 to 30kV EDS system (jeol system) | |