미세구조분석실 파트4 신규 장비 안내 (Cryo-APT)
- 공동기기원
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- 2025-04-25
I. 신규 장비 특징 및 모델
1. 장비 : Cryo-APT(LEAP-6000 XR)
2. 장비 특징
- - 향상된 수율과 더욱 정확한 재구성 기능을 제공하는 심자외선 (DUV) 레이저 파장
- 더 높은 감도와 더 간편한 피크 식별이 가능한 동시 전압 펄스 레이저 펄싱 (VLP) 기능
- Å 수준의 공간 분해능과 ppm-ppb 수준의 감지 가능
- 수집된 수천만 ~ 수억 개의 이온들에 대한 3차원 공간 좌표 할당
→ 원자 단위 미세구조 3차원 시각화 및 화학적 정보 제공
- 정량적 농도 변화 및 계면 내 용질 편석 등 분석
- 수 개의 원자로 구성된 클러스터 크기, 원자 수, 조성, 밀도 등 매개변수 정량화
3. 분석의뢰 방법
- SESS 성균관대 연구시설장비 공유시스템 (https://sess.skku.edu/sess/index.do)
1) FIB로 APT 시편 Sampling 이후, 전달
2) 성균관대 공동기기원 FIB2 (Metal, Alloy 등 - Bulk Sample) / FIB4 (Bulk, 2D 등) 예약
(FIB Milling 의 경우, APT 운영과는 별도로 정산 진행)
II. 오픈 예정일
1. 시범 운영
- 2025년 04월 30일 ~ 2025년 05월 31일
2. 정식 운영(예정)
- 2025년 06월 1일 ~
III. 담당자
- 신원상 책임 (031-299-6723/6733)
- 시편 문의사항 메일 : swsjss@skku.edu