표면분석실 신규 장비 3종 안내 (M-SIMS, MP-AFM, Laser Cutter)
- 공동기기원
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- 2025-04-18
I. 신규 장비 특징 및 모델
1. M-SIMS
- 특징
기보유 TOF.SIMS.5(Static 방식)와 달리 Dynamic Ion 주사 방식(Dose량: 1.0e13atoms/cm2이상)을 통한 심도 분석 및 극미량 원소(TOF 타입 대비2order 낮은 검출한계) Depth Profile 분석이 가능한 SIMS
- 모델명: IMS-7f Auto (CAMECA社)
2. MP-AFM
- 특징
기보유 Bio-AFM과 달리 표면 거칠기 뿐만 아니라 다양한 모드를 구현 가능한 AFM
EFM, MFM, KPFM, DART 등
- 모델명: Cypher S (OXFORD社)
3. UV-Laser 가공장비
- 특징
UV-Laser를 이용하여 PCB 기판을 가공하고 절삭하는 장비로서, PCB 샘플 요청시 빠른 제작에 용이하며, Flexible, Microvia 등 가공이 힘든 자재와 정밀한 가공으로 다양한 형태의 PCB를 제작하는데 사용되며 FIB, TEM, SEM Sample Preparation을 위한 장비 제단 및 식각이 가능한 장비
- 모델명: Protolaser U4 (LPKF社)
II. 오픈 예정일
1. M-SIMS: 5/19(시범 운영), 6/1(정식 운영)
2. MP-AFM: 5/7(시범 운영), 5/19(정식 운영)
3. UV-Laser 가공장비: 5/1
III. 담당자
1. M-SIMS: 홍문규 책임 (031-299-6712)
2. MP-AFM: 신나라 연구원 (031-299-6724)
3. UV-Laser 가공장비: 이주영 연구원 (031-299-6762)