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분석실 안내

연구장비 소개

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이차이온질량분석기

이차이온질량분석기
연구장비 이미지
단축명 SIMS
모델명 TOF-SIMS-5
설치장소 표면분석실//81B110호
제작사 ION-TOF
도입년도/가격 200712 / 1,400,000,000
담당자 홍문규(Hong Moon-Kyu) 031-299-6764
장비용도
Elemental and molecular chemical analysis of surface
기본사양
1. High reflection TOF analyzer 2. UHV analysis chamber and Fast entry air lock 3. Bi cluster ion source 4. O2 and Cs dual source for Depth profiling 5. A motorized five-axes UHV sample stage 6. Two CCD high resolution video cameras 7. Secondary electron detector for SEM imaging 8. High secondary ion transmission with high mass resolution