공동기기원

이차이온질량분석기(SIMS, Secondary Ion Mass Spectrometry)는 일정한 에너지를 가진 일차이온을 고체 표면에 입사시킨 후 방출되어 나오는 이차이온의 잘량을 측정하여 재료 표면을 구성하고있는 원소 및 분자의 종류 그리고 양을 분석하는 장비이다. 

입사되는 일차이온의 양(기준: 10¹³개/cm²)에 따라 기준 보다 적은 SIMS를 정적 SIMS(Static SIMS), 기준 보다 많은 SIMS를 동적 SIMS(Dynamic SIMS)로 구분하며, 비행시간형 이차이온질량분석기(TOF-SIMS, Time-Of-Flight SIMS)는 이중에 정적 SIMS에 해당한다. TOF-SIMS의 경우 표면을 파괴시키지 않으면서 단원자층을 분석할 수 있을 정도 일차이온 전류밀도를 줄여 표면을 구성하고 있는 원소와 분자를 확인할 수 있으며, 질량 범위가 매우 크고 한 번에 수많은 이온을 분석 할 수 있는 장점을 가진다. 분석 방법은 표면분석(Surface Analysis), 깊이분석(Depth Analysis) 2가지가 잇으며 표면 분석으로 표면 Graph(Intensity-Mass), Element 분석, Raw Peak 분석, 2D Mapping이 가능하며 깊이분석으로 Depth Profiling, 3D Mapping이 가능하다.