주사전자현미경 측정 문의: ☎ 031-299-6730(SEM1, SEM2, SEM3), 6776(SEM4), 4749(SEM5), 6742(SEM6)
1. 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope) 측정원리
FE-SEM(Field Emission Scanning Electron Microscope)은 전자 소스에서 발생한 고에너지 전자를 가속하여 렌즈 시스템으로 집중시키고, 이를 시료표면에 스캔하여 생성되는 반사 전자(Secondary Electrons, SE)와 후방 산란전자(Backscattered Electrons, BSE) 등의 신호를 감지하고 이미지로 변환하여 물체의 미세한 표면 구조와 특성을 고해상도로 관찰하는 분석 장비이다. EDS(Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy)를 활용하여 시료의 원소 조성을 분석하고, EBSD(Electron Backscatter Diffraction)을 통해 결정 방향과 결정 구조를 확인할 수 있다. 나노구조물, 나노입자, 얇은 필름, 반도체 등의 미세한 표면 구조와 특성을 연구하는데 널리 활용된다.
< SEM에서 유용한 신호 >
출처: NFEC MANUAL 제9호
2. 분석 종류
| 구분 | 분석내용 | 결과 |
|---|---|---|
| 이미지 분석 |
표면 형태, 미세구조, 입자크기 및 분포 (Cellulose Nanofiber(CNF)) |
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| 화학분석(EDS) | 원소조성 |
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| 결정분석(EBSD) |
결함 및 결정구조 (철(Fe) 결정립및결정방위분석) |
